低溫泵，又稱為冷凝泵，是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵。它可以獲得極限壓力，抽氣速率的清潔真空，低溫泵有很多種類，廣泛應(yīng)用于分子束研究、集成電路和半導(dǎo)體的生產(chǎn)和研究、半導(dǎo)體的生產(chǎn)和研究、真空表面、空間模擬裝置、離子注入機(jī)和真空鍍膜設(shè)備等方面。
低溫冷卻循環(huán)泵特點：
一、風(fēng)冷式全封閉壓縮機(jī)組制冷，微機(jī)智能制冷控制系統(tǒng)自動開啟，制冷系統(tǒng)具有延時、過熱、過電流等多重保護(hù)裝置。
二、循環(huán)泵可將槽內(nèi)冷液輸出，冷卻或恒溫機(jī)外實驗容器或建立第二恒溫場。
三、微機(jī)設(shè)有定時關(guān)機(jī)功能，開啟此功能后可在0~100小時內(nèi)任意設(shè)置定時關(guān)機(jī)時間。
四、采用雙窗口，紅、綠兩種顏色LED顯示溫度設(shè)定值和溫度測量值，數(shù)顯分辨率0.1℃，微機(jī)可修正溫度測量值偏差，使數(shù)顯精度達(dá)0.1℃.
五、具有微機(jī)軟件鎖功能，可鎖定系統(tǒng)各參數(shù)設(shè)定值，無關(guān)人員不得更改已設(shè)定參數(shù)。
六、以上所有操作均在微機(jī)智能控制儀上按動觸摸軟鍵完成，操作簡單。
七、產(chǎn)品使用方便，可連續(xù)工作。

低溫冷卻液循環(huán)泵的應(yīng)用：
(1)廠家全封閉壓縮機(jī)組、循環(huán)水泵，性能、質(zhì)量;
(2)制冷機(jī)組繼電器、保護(hù)器、電容器、制冷部件，為進(jìn)口器件;
(3)數(shù)顯溫度顯示、微電腦控溫，操作簡單、醒目;
(4)循環(huán)系統(tǒng)采用防腐材料，具備防銹、防腐蝕、降低溫液體污染的功能;
(5)用電動攪拌器在本機(jī)內(nèi)可直接完成;
(6)(-5)-(-120)℃條件下的實驗，可把冷卻液輸送給所使用的場所，內(nèi)設(shè)有循環(huán)泵。

低溫泵的結(jié)構(gòu)特點：
1、對稱結(jié)構(gòu)。為了能使泵在冷態(tài)下均勻變形，泵的總體結(jié)構(gòu)力求對稱布置，冷頭一般采用二級機(jī)構(gòu)，級能達(dá)到八十K，第二級達(dá)到溫度十K。
2、雙層殼體。為了有利于輸送危險介質(zhì)和保冷方便，低溫泵通常都制成雙層殼體，外殼做成了真空夾層，能達(dá)到良好的隔熱效果;內(nèi)殼里面承受泵壓，內(nèi)外殼之間是吸入壓力，這樣可以有效降低內(nèi)殼的強(qiáng)度要求。
3、立式結(jié)構(gòu)。這種結(jié)構(gòu)可以降低泵的吸上高度，提高有效汽蝕余量，增加灌注頭;立式結(jié)構(gòu)還有利于排氣，使懸掛軸有足夠高度便于布置軸封裝置，適合于埋裝在地下，易于保冷，不會受空氣溫度，日照和電動機(jī)熱風(fēng)等的影響，故該泵也稱為立式筒型泵。

低溫泵的工作原理:
低溫泵使氣體凝結(jié)，并保持泵的極限壓力高于凝結(jié)物的蒸汽壓力，從而達(dá)到抽氣作用。其主要是靠三個方面實現(xiàn)的，即為：低溫吸附、低溫捕集和低溫冷凝。
1、低溫吸附。氣體分子以一個單分子層厚，被吸附到涂在冷板上的吸附劑表面上，相同溫度下的蒸氣壓力比吸附的平衡壓力高很多，這樣就可能在較高的溫度下通過低溫吸附來進(jìn)行抽氣。
2、低溫捕集。在抽氣溫度下不能冷凝的氣體分子，可被不斷增長的可冷凝氣體層吸附和埋葬。
3、低溫冷凝。低溫冷凝抽氣冷凝層厚度可達(dá)10毫米左右。氣體分子冷凝在已冷凝的氣體層上或冷凝在冷板表面上，其冷凝物的蒸氣壓等于平衡壓力。抽空氣時，冷板溫度必須低于 25K;抽氫時，冷板溫度會更低。
一般說來，泵的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力。但由于低溫冷板和被抽容器溫度的不同，冷凝物的蒸氣壓低于泵的極限壓力。
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